圧力センサ
セトラ(Setra)の圧力センサは、セトラが得意とする可変容量変換技術を用いて高精度と長期安定性を実現しています。また取付けについてはVCRタイプや1.125インチ継手ブロックタイプなどをご用意しているため、半導体製造関連装置でもご使用いただきやすくなっています。半導体製造関係以外にも、ビルオートメーション、HVAC、一般産業向けなどさまざまな用途にて革新的なソリューションを今後も提供して参ります。
ウルトラクリーン
タイプ | 圧力レンジ | 精度(FS) | 使用温度範囲 | シリーズ |
---|---|---|---|---|
小型・高パージ |
0~20MPa | ±0.25% | -40℃~85℃ | 223 |
0~20MPa | ±0.25% | -40℃~85℃ | 224 | |
0~20MPa | ±0.25% | -40℃~85℃ | 225 | |
0~20MPa | ±0.25% | -40℃~85℃ | 227 |
微差圧
タイプ | 圧力レンジ | 精度(FS) | 使用温度範囲 | シリーズ |
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微差圧 |
25Pa~±1000Pa | ±0.25~±1% | -18℃~79℃ | 264 |
25Pa~±7000Pa | ±0.25~±1% | -18℃~65℃ | 267 |
静電容量式
タイプ | 圧力レンジ | 精度(FS) | 使用温度範囲 | シリーズ |
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VCR対応 |
0~100kPa | ±0.25~±1% | 0~+80℃ | 730 |
高精度
タイプ | 圧力レンジ | 精度(FS) | 使用温度範囲 | シリーズ |
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高精度・堅牢 | -100kPa~6.8MPa | ±0.05~±0.1% | -40℃~85℃ | ASM |