静電容量式

730

	特長	静電容量、VCR対応
	対象圧力	絶対圧
	圧力レンジ	0～100kPa
	応答速度	20ms未満
	精度	±0.25～±1%
	使用温度範囲	0～80℃
	認証	CE、RoHS
	用途	半導体製造関連装置、プラズマ滅菌器、真空包装機
	ダウンロード	カタログ リーフレット 取扱説明書