ウルトラクリーン

223

	特長	高精度、流体用
	対象圧力	ゲージ圧、絶対圧、連成圧
	圧力レンジ	0～20MPa
	耐圧	1.16～2×FS
	精度	±0.25%FSまたは±1.0%（読み値））
	使用温度範囲	-40℃～85℃
	認証	CE、RoHS
	用途	半導体製造関連装置、ガス供給システム、製薬/バイオ製造
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224

	特長	小型、高精度、流体用
	対象圧力	ゲージ圧、絶対圧、連成圧
	圧力レンジ	0～20MPa
	耐圧	1.16～2×FS
	精度	±0.25%FSまたは±1.0%（読み値）
	使用温度範囲	-40℃～85℃
	認証	CE、RoHS
	用途	半導体製造関連装置、ガス供給システム、製薬/バイオ製造
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225

	特長	高精度
	対象圧力	ゲージ圧、絶対圧、連成圧
	圧力レンジ	0～20MPa
	耐圧	1.16～2×FS
	精度	±0.25%FS
	使用温度範囲	-40℃～85℃
	認証	CE、RoHS
	用途	半導体製造関連装置、ガス供給システム
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227

	特長	高精度、1.125インチ継手ブロックタイプ
	対象圧力	ゲージ圧、絶対圧、連成圧
	圧力レンジ	0～20MPa
	耐圧	1.16～1.6×FS
	精度	±0.25%FSまたは±1.0%（読み値）
	使用温度範囲	-40℃～85℃
	認証	CE、RoHS
	用途	半導体製造関連装置、半導体ガス供給系集積化システム、 ガス供給システム
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